व्हॅक्यूम कार्बरायझिंग म्हणजे वर्कपीस व्हॅक्यूममध्ये गरम करणे.जेव्हा ते गंभीर बिंदूच्या वर तापमानापर्यंत पोहोचते, तेव्हा ते काही काळ टिकते, डिगॅस करते आणि ऑक्साईड फिल्म काढून टाकते आणि नंतर कार्बरायझिंग आणि प्रसारासाठी शुद्ध कार्बरायझिंग गॅसमध्ये जाते.व्हॅक्यूम कार्ब्युराइझिंगचे कार्बरायझिंग तापमान जास्त आहे, 1030 ℃ पर्यंत, आणि कार्बरायझिंग वेग वेगवान आहे.कार्बराइज्ड भागांची पृष्ठभागाची क्रिया डीगॅसिंग आणि डीऑक्सिडायझिंगद्वारे सुधारली जाते.त्यानंतरच्या प्रसाराची गती खूप जास्त आहे.आवश्यक पृष्ठभाग एकाग्रता आणि खोलीपर्यंत पोहोचेपर्यंत कार्बुरिझिंग आणि प्रसार वारंवार आणि वैकल्पिकरित्या केले जाते.
व्हॅक्यूम कार्बरायझिंग खोली आणि पृष्ठभागाची एकाग्रता नियंत्रित केली जाऊ शकते;हे धातूच्या भागांच्या पृष्ठभागाच्या थराचे धातूशास्त्रीय गुणधर्म बदलू शकते आणि त्याची प्रभावी कार्बरायझिंग खोली इतर पद्धतींच्या वास्तविक कार्ब्युराइझिंग खोलीपेक्षा खोल आहे.